Применение высокочастотной плазмы в технологии
Аннотация.
В курсе данной дисциплины излагаются основы нерелятивистской теории взаимодействия однородного и пространственно неоднородного электромагнитного излучения СВЧ и лазерного диапазонов длин волн с заряженными частицами плазмы, основы теории высокочастотного квазипотенциала в неоднородных потоках сверхвысокочастотного излучения в слабых и сильных однородных постоянных магнитных полях, основы теории нагрева плазмы СВЧ излучением, основы теории распространения и поглощения СВЧ и лазерного излучений в плазме, основы теории резонансных и нерезонанастных мультипакторных СВЧ разрядов в различных технологических установках, основы теории комплексной диэлектрической проницаемости и комплексной электропроводности плазмы в СВЧ-полях, основы применения плазмы в экологии и технологии.
Программа предназначена для ознакомления студентов с физическими основами и методами теории взаимодействия электромагнитного излучения в широком диапазоне длин волн (от сверхвысокочастотного, - с длинами волн 30-0.1 см, до лазерного, - с динами волн от 10 до 0.1 мкм) с плазмой, развия практических навыков применения теоретических знаний для решения задач технологии.
Структура курса (лекции- 34 часа, практические занятия- 17 часов) .
Формы контроля (промежуточный: контрольная работа 4 и 10 неделя, итоговый: зачет).
Содержание лекций
Программа курса